在當今微奈米製造領域,業界迫切需要能夠高效製造具有複雜三維結構和奈米級特徵的技術。我們公司研發的飛秒投影TPL技術(FP-TPL)提供了革命性的解決方案,大幅提升亞微米尺度3D列印速度。

技術背景:傳統TPL的局限性
傳統的雙光子光刻(TPL)技術利用非線性雙光子吸收原理,能夠製造出特徵尺寸約200奈米的三維結構,其生產速率比高解析度二維技術(如電子束光刻)更快。然而,傳統TPL採用逐點連續掃描的串列寫入方式過於緩慢,難以滿足大規模生產需求,因此長期局限於學術和研究實驗室應用。
我們的突破:飛秒投影TPL技術與FP NanoPrinter

我們公司開發的飛秒投影TPL(FP-TPL)技術及其商業化產品FP NanoPrinter,通過空間和時間同步聚焦超快雷射,實現了並列製造,在保持奈米級解析度的同時使列印速度提高了三個數量級。
核心技術原理
FP NanoPrinter將再生飛秒雷射放大器與數位微鏡器件(DMD)結合,通過空間和時間聚焦生成深度解析可編程光片。具體工作原理如下:
- 數位遮罩設計:利用DMD將光束結構化為任意2D圖案
- 時間聚焦技術:利用飛秒雷射的寬頻特性和DMD的繞射特性,實現在時間域的聚焦
- 飛秒光片形成:在焦平面上重新組合所有分散的雷射光譜分量,形成具有最短脈衝持續時間的光片
- 同步控制:飛秒光片和精密位移台之間的精確同步,創建任意複雜的3D微米和奈米結構
突破性性能指標

FP NanoPrinter在多方面實現了顯著突破:
- 極速列印:單次曝光(僅1-10毫秒)即可列印包含數十萬個體素的完整平面,加工速率高達約100立方毫米/小時,比最先進的商業解決方案快1000倍
- 超高解析度:橫向和軸向解析度分別為140奈米和175奈米,甚至可以通過特殊工藝實現30奈米的最小特徵尺寸
- 增強的結構強度:得益於1:1.25的最佳化體素縱橫比,列印物體具有更高的結構強度
顯著經濟效益
通過大幅節省雷射操作時間,FP NanoPrinter有效地將每個零件的列印成本降低了90%,為微奈米製造的商業化應用提供了經濟可行的解決方案。
獨特優勢與應用前景

FP NanoPrinter的獨特優勢在於:
- 製造複雜懸垂結構:能夠毫不費力地製造以前無法加工的具有懸垂部分的大型3D結構
- 多材料整合能力:通過在可膨脹水凝膠基底上沉積多種材料,可實現功能性複合結構
- 奈米精度控制:通過收縮凝膠基底的工藝,可以實現30奈米的最小特徵尺寸
這些優勢使FP NanoPrinter在多個高科技領域具有廣闊的應用前景:
- 光子學:奈米光學元件、光子晶體、光學超材料
- 醫療:生物支架、藥物傳遞系統、植入式醫療器件
- 汽車工業:微型感測器、精密機械部件
- 航空航天:輕量化結構、高強度材料
- 電子設備:柔性電子、微型電路、感測器


