近日，香港中文大學獲香港特別行政區政府創新科技署批准，與新加坡國立大學合作，在第三個InnoHK創新香港研發平台（SEAM@InnoHK）下設立了「異質集成與製造中心」（The Centre for Heterogeneous Integration and Production，簡稱CHIP）。該中心由中大機械與自動化工程學系陳世祈教授，聯同中大電子工程學系許建斌教授與趙銥教授共同領導，首期獲批經費2.9億港幣，為期五年。
作為超奈科技的創始人，陳世祈教授此次再獲InnoHK平台支持，是其在奈米製造與雙光子光刻領域科研實力的又一次有力體現。
聚焦「超越摩爾定律」時代的核心命題
隨著半導體產業逐步邁入「超越摩爾定律」階段，傳統電晶體微縮已逼近物理極限，三維異質集成被視為提升晶片性能、降低功耗與成本的關鍵技術路徑。然而，構建奈米級矽基積體電路需要極高精度的製造與計量工具，目前市場上尚缺乏成熟設備；同時，二維材料等新型半導體材料的引入，也對製造工藝提出了全新要求。
CHIP正是在這一產業背景下應運而生，致力於通過異質集成技術推動半導體設備及材料加工方面的創新，助力新一代高性能電子器件的發展。
三大研究方向 系統性突破製造瓶頸
圖片來源：Inventec
圍繞半導體先進製造的關鍵挑戰，CHIP將重點推進三個方向的研究：
一是半導體精密製造與計量設備，包括晶圓鍵合系統、二維光刻平台及雷射蝕刻機等關鍵技術，以提升三維及電子積體電路在速度、精度和可擴展性方面的整體水平。
二是基礎材料工程與先進封裝，涵蓋鍵合技術、晶片界面熱管理及二維材料製備等領域，目標是實現工業級規模的異質集成。
三是基於異質集成的新型器件與系統，包括電子—光子積體電路、後端製程兼容器件、二維材料—矽混合光電晶片及柔性感測器模組等，回應全球半導體異質集成的發展路線圖，並為人工智慧、高性能計算、機器人、擴增實境及虛擬實境等應用場景提供底層技術支撐。
CHIP的目標是通過科研創新攻克半導體設備及材料加工的技術難題，提升高性能電子器件的效率、可擴展性與可持續性，進一步鞏固香港及中國內地在先進製造與電子材料領域的國際地位。
基礎研究與產業實踐相互呼應
陳世祈教授長期深耕超快雷射、雙光子光刻與奈米製造等方向。此次CHIP所聚焦的高精度製造設備研發與異質集成工藝，與奈米製造領域的前沿議題高度相關，相關研究成果有望為整個行業的設備能力與工藝水平帶來新的提升。
作為陳教授參與創辦的奈米製造企業，超奈科技專注於雙光子光刻及奈米製造技術的產業化應用。陳教授在CHIP的研究工作屬於面向行業共性問題的基礎與應用研究，其成果將服務於整個半導體與奈米製造產業生態；與此同時，相關前沿方向所積累的科學認知與人才儲備，也將與超奈科技所處的技術領域形成良好的呼應，為公司持續跟蹤行業前沿、保持技術敏銳度提供有益參考。
結語
從早前獲選香港研究資助局高級研究學者，到此次領銜InnoHK CHIP研發中心，陳世祈教授在奈米製造與半導體先進製造領域的科研工作持續獲得權威認可。我們謹向陳教授及其團隊致以誠摯祝賀，期待CHIP在未來五年中產出更多具有國際影響力的研發成果，為香港乃至全球的先進製造產業發展貢獻力量。
超奈科技也將繼續秉持踏實求新的態度，專注於自身技術與產品的打磨，與學術界、產業界的合作夥伴攜手，共同推動奈米製造技術走向更廣闊的應用場景。
信息來源引用：
https://www.info.gov.hk/gia/general/202603/26/P2026032500539.htm
